作为全球的光刻机龙头企业,荷兰的 ASML 此前可以说日子过得还算不错,特别是英特尔组建的 EUV 技术联盟并没有将技术授权给尼康和佳能,导致全球范围之内只有 ASML 可以制造并且出货 EUV 光刻机。
EUV 光刻机对于先进芯片制造的重要性是有目共睹的,可以说在很长一段时间当中 EUV 光刻机带来的营收都占比了 ASML 营收总额的一半左右。可是随着芯片产业链的发展,如今对于 EUV 光刻机有所需求的厂商数量越来越少,EUV 光刻机出货量也正在减少当中。外媒:ASML 即将说再见了。
EUV 光刻机虽然十分的重要,可是大多数专注于成熟制程芯片代工的厂商其实用不到,除了无法出货的中国市场之外,ASML 的 EUV 光刻机主要客户就是英特尔、台积电和三星了。这些厂商目前都有足够的 EUV 光刻机,随着芯片需求降低对于 EUV 光刻机的需求也在降低。
例如在 2024 年年初的时候,台积电就宣布暂停 2024 年预计将购买的 10 台 EUV 光刻机,事实上早在 2023 年的时候就已经有延迟交付设备的消息,以及台积电关停了四台 EUV 光刻机的消息。
从 ASML 公开的财报数据也能够看出,2023 年 EUV 光刻机带来的营收占比持续降低,目前维持在 30% 左右,降低了 20% 左右。DUV 光刻机虽然出货量增长了不少,甚至带动了 ASML2023 年整体营收的增长。
可是主要是因为中国厂商的大批订单,如今 ASML 已经撤回了许可,无法自由出货,中国厂商也囤积了不少光刻机。可以预见的是 2024 年 ASML 的光刻机出货量肯定要受到影响。
虽然 ASML 推出了最新的 NA EUV 光刻机,每台售价高达 24 亿元左右,可是 ASML 目前年产能仅有 10 台,哪怕拉满也只有 240 亿元左右的营收,很难维持与 2023 年相当的水平,更别说是进一步增长了。
最重要的是,如今先进芯片生产设备已经不仅仅只有 EUV 光刻机了,可以说先进芯片制造设备也并非只有 ASML 可以出货了。首先了 BEUV 光刻技术,能够带来更短的波长,有业内人士预测到 2035 年前后可能会替代 EUV 光刻机。
其次还有佳能的纳米压印技术,从佳能 3 月初的传出的消息来看,预计将在今年量产 5nm 制程的纳米压印设备,预计到 2026 年可以量产 2nm 制程的纳米压印设备。从这个进度来看,基本到 2026 年左右就纳米压印设备和光刻机的先进制程就相差不多了。
毕竟 EUV 光刻机目前基本上走到了尽头,ASML 想要继续提高制程已经没有那么容易了。如今 ASML 正在研发的 Hyper-NA EUV 光刻技术,能够将制程推进到 0.7nm,可是成本很高,ASML 接受得了芯片代工企业也未必能够接受。
更何况,到 Hyper-NA EUV 光刻技术之后,ASML 的 EUV 光刻技术该如何发展还没有头绪呢。反而是其他技术赛道有着不小的优势,如 BEUV 光刻有更短的波长,纳米压印设备有着更低的成本。
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